图书介绍

微机电系统设计（MEMS）和原型设计指南2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载

微机电系统设计（MEMS）和原型设计指南
  • （美）库比著 著
  • 出版社： 北京：国防工业出版社
  • ISBN：9787118096903
  • 出版时间：2014
  • 标注页数：135页
  • 文件大小：15MB
  • 文件页数：144页
  • 主题词：微电机－系统设计－指南

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图书目录

第1章 引言1

1.1 MEMS制造概述1

1.2 共享晶圆工艺5

1.2.1 多项目晶圆工艺5

1.3 设计规则18

1.4 版图20

参考文献27

第2章 微观力学30

2.1 弹簧30

2.1.1 并联弹簧32

2.1.2 串联弹簧32

2.2 屈曲33

2.3 泊松比33

2.4 切向应力和切向应变张量35

2.5 其他梁36

2.6 扭转38

2.7 薄膜39

2.8 测试结构40

2.9 阻尼42

2.10 加速度计43

2.10.1 悬臂梁44

2.10.2 撞传感器44

2.11 压力传感器46

参考文献51

第3章 静电驱动52

3.1 机械回复力55

3.2 梳状驱动谐振器58

3.3 悬臂梁谐振器60

3.4 双端固支梁谐振器60

参考文献64

第4章 光学MEMS66

4.1 反射悬臂梁光调制器66

4.2 单轴扭转镜68

4.3 双轴扭转镜：朗讯路由光电转换器72

4.4 PolyMUMPs工艺中的法布里—珀罗干涉仪77

4.5 获取平整光学MEMS器件82

参考文献85

第5章 热学MEMS87

5.1 驱动器90

5.2 冷臂—热臂式热驱动器91

5.3 热压电双晶片96

5.4 辐射热计98

5.5 热喷墨打印机100

5.6 热损伤限制热驱动MEMS100

参考文献102

第6章 流体MEMS103

6.1 运动方程103

6.2 微流体103

6.2.1 雷诺数106

6.2.2 表面张力107

6.2.3 接触角度108

6.2.4 毛细上升109

6.3 喷墨打印110

参考文献115

第7章 封装和测试116

7.1 发布116

7.2 测试设备117

7.3 机械测试118

7.4 电气测试119

7.5 光学特性120

参考文献122

第8章 从原型到产品：MEMS——自适应光学可变形反射镜123

参考文献133

微机电系统（MEMS）设计和原型设计指南135

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