图书介绍

射频等离子体物理学2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载

（法）帕斯卡·夏伯特，（英）尼古拉斯·布雷斯韦特著；王友年，徐军，宋远红译著
出版社：北京：科学出版社
ISBN：9787030459190
出版时间：2015
标注页数：321页
文件大小：113MB
文件页数：330页
主题词：射频－等离子体物理学

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图书目录

第1章概论1

1.1 等离子体1

1.2 微电子学中的等离子体工艺3

1.3 等离子体推进8

1.4 射频等离子体：E，H和W模式12

1.5 内容简介15

第2章等离子体动力学与平衡17

2.1 微观描述18

2.2 宏观描述33

2.3 整体粒子和能量平衡36

2.4 电动力学描述39

2.5 本章总结48

第3章有界等离子体51

3.1 空间电荷鞘层区53

3.2 等离子体/鞘层过渡62

3.3 等离子体区：输运模型67

3.4 本章总结77

第4章射频鞘层83

4.1 响应时间83

4.2 离子动力学87

4.3 电子动力学95

4.4 （高频）RF鞘层的解析模型99

4.5 重要结果归纳110

第5章单频容性耦合等离子体111

5.1 恒定离子密度下电流驱动的对称模型112

5.2 非均匀离子密度的电流驱动模型123

5.3 整体模型130

5.4 其他放电参数范围及放电位形139

5.5 重要结果归纳145

第6章多频容性耦合等离子体147

6.1 静电近似下的双频CCP148

6.2 高频情况下的电磁模式156

6.3 重要结果归纳181

第7章感性耦合等离子体183

7.1 电磁模型185

7.2 等离子体自身的阻抗194

7.3 变压器模型198

7.4 纯感性放电的功率转换效率201

7.5 容性耦合203

7.6 整体模型205

7.7 重要结果归纳210

7.8 进一步考虑211

第8章螺旋波等离子体217

8.1 在无界等离子体中的平行传播220

8.2 柱状等离子体中传播的螺旋波224

8.3 螺旋波模式存在的条件229

8.4 波功率的吸收：加热231

8.5 E-H-W模式转换235

8.6 重要结果归纳237

第9章真实等离子体239

9.1 高密度等离子体240

9.2 磁化等离子体244

9.3 电负性等离子体248

9.4 扩展等离子体260

第10章电测量265

10.1 静电探针266

10.2 用于射频等离子体的静电探针284

10.3 减速场分析器291

10.4 共振及波诊断296

10.5 重要结果归纳306

附录：习题解307

参考文献313