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第1章　绪论1

1.1　太阳设备的发展历史1

1.1.1　硅切割设备的发展2

1.1.2　硅电池制备设备的发展3

1.2　国际太阳电池生产设备发展现状4

1.2.1 国际太阳电池设备市场现状4

1.2.2 国际太阳电池设备主要生产区域4

1.2.3 国际太阳电池设备主要生产厂家4

1.3　国内太阳电池生产设备发展现状5

1.3.1 国内太阳电池设备技术现状5

1.3.2 国内太阳电池设备主要厂家情况6

1.4　国内太阳电池生产设备与国际差距6

1.4.1 国产设备相继在生产线应用6

1.4.2　高端设备仍需进口7

1.5　太阳能设备的发展趋势及展望8

1.5.1 未来太阳电池设备技术发展趋势8

1.5.2　我国太阳电池设备面临的机遇与挑战8

1.6　太阳电池生产线的总体布局9

1.7　本教材主要内容及任务11

第2章　机电设备基础12

2.1　动力源12

2.1.1　动力源的类型12

2.1.2 电动机的分类、性能、特点及适用范围13

2.1.3 电动机的选择原则17

2.2　传动装置17

2.2.1 带传动18

2.2.2　齿轮传动18

2.2.3　螺旋传动20

2.2.4　涡杆传动20

2.2.5　链传动21

2.2.6　液压与气压传动21

2.3　检测与传感装置23

2.4　自动检测系统的构成及转换原理23

2.4.1 自动检测系统的构成23

2.4.2　传感器的转换原理24

2.5　控制系统24

2.5.1　控制系统的基本构成24

2.5.2　控制系统的分类25

习题26

第3章　清洗制绒设备27

3.1　晶体硅表面减反射及其制绒原理27

3.1.1 晶体硅表面减反射原理27

3.1.2　晶体硅表面制绒原理28

3.2　国内外清洗制绒设备的主要生产厂商30

3.3　晶体硅清洗制绒设备的工艺流程、槽体结构分布及主要结构31

3.3.1 晶体硅清洗制绒设备的工艺流程和槽体分布31

3.3.2　晶体硅清洗制绒设备的主要结构32

3.4　设备操作规程运行应满足的条件34

3.5　设备维护与保养34

3.6　清洗制绒设备的技术发展方向35

习题35

第4章　扩散制结设备36

4.1　扩散工艺的原理36

4.1.1　有关扩散的物理基础36

4.1.2　磷扩散中的主要化学反应39

4.2　扩散炉的结构、参数和关键性能39

4.2.1　扩散炉的结构40

4.2.2　主要性能指标42

4.2.3　扩散炉的工作原理43

4.3　扩散炉的操作过程和安全生产规范45

4.3.1　设备的操作方法45

4.3.2　试运行准备46

4.3.3　常用的扩散工艺46

4.3.4　注意事项46

4.3.5　安全生产规范47

4.4　扩散炉的维护和保养47

4.4.1　扩散炉的故障维护47

4.4.2　扩散炉的日常维护与保养49

4.5　扩散设备的发展方向49

习题50

第5章　刻蚀清洗设备51

5.1　刻蚀技术简介51

5.1.1　刻蚀的原理51

5.1.2　刻蚀技术的分类及特点52

5.1.3　干法刻蚀技术的发展历程53

5.1.4　四种典型的干法刻蚀技术54

5.2　典型的刻蚀清洗设备59

5.2.1 电感耦合（ICP）高密度等离子体刻蚀机59

5.2.2　M42系列等离子体刻蚀机62

习题65

第6章　等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备66

6.1　概述66

6.2　PECVD的工作原理和特点66

6.3　PECVD的结构、主要性能指标和特点67

6.3.1　PECVD的结构67

6.3.2　PECVD的性能指标68

6.3.3　PECVD设备的主要特点69

6.4　PECVD设备的安装、调试及其制作过程70

6.4.1　PECVD设备的安装和调试工作70

6.4.2　设备调试前的检查工作71

6.4.3　设备的调试71

6.4.4　PECVD制作工艺步骤73

6.5　PECVD设备的故障分析和维护保养73

6.5.1　PECVD设备的故障分析73

6.5.2　PECVD的维护保养75

习题75

第7章　丝网印刷设备76

7.1　丝网印刷的工作原理76

7.2　全自动丝和半自动丝网印刷设备的结构和主要技术特点78

7.2.1 全自动丝网印刷设备的结构和主要技术特点78

7.2.2　半自动丝网印刷设备的结构和主要技术特点79

7.3　丝网印刷设备的操作过程和安全规范80

7.3.1 丝网印刷设备的操作过程80

7.3.2　丝网印刷设备的安全规范81

7.4　丝网印刷设备的维护和保养82

7.5　丝网印刷设备的发展方向83

习题83

第8章　电极烧结设备84

8.1　电极烧结原理84

8.2　太阳电池烧结工艺85

8.3　国内外烧结炉设备的主要生产厂商85

8.4　太阳电池烧结炉的结构及关键性能86

8.4.1 炉体86

8.4.2　烘干区87

8.4.3　烧结区88

8.4.4　网带传动部分88

8.5　烧结炉的安装、调试及维护89

8.5.1　烧结炉的安装89

8.5.2　烧结炉的调试及运行90

8.5.3　常见故障分析及排除方法92

8.5.4　维护及保养92

习题93

第9章　测试与分选设备94

9.1　太阳电池测试原理94

9.1.1　光电流和光电压94

9.1.2　太阳电池的等效电路97

9.1.3　参数的测量及计算98

9.1.4　I-V曲线拟合99

9.2　太阳电池的测试100

9.2.1 太阳辐射的基本特性100

9.2.2　太阳模拟器101

9.2.3　单体太阳电池测试102

9.2.4　太阳电流组件测试和环境试验方法105

9.2.5　测试太阳电池的注意事项107

9.3　太阳电池测试设备108

9.3.1 太阳电池测试系统的组成108

9.3.2　太阳电池测试仪109

习题110

主要参考文献111

后记113