图书介绍

多晶硅生产技术项目化教程2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载

刘秀琼，唐正林主编著
出版社：北京：化学工业出版社
ISBN：9787122156228
出版时间：2013
标注页数：252页
文件大小：30MB
文件页数：260页
主题词：半导体材料－硅－生产工艺－教材

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图书目录

绪论1

0.1 改良西门子法生产多晶硅1

0.2 其他多晶硅生产方法4

项目一气体的制备与净化6

任务一气体的制备6

任务二气体净化18

小结27

习题和思考题27

项目二三氯氢硅的合成28

任务一液氯汽化28

任务二氯化氢的合成36

任务三三氯氢硅的合成43

小结61

习题和思考题62

项目三三氯氢硅精馏提纯64

任务一精馏提纯原理及相关计算64

任务二精馏提纯设备89

任务三精馏提纯工艺96

任务四精馏提纯操作98

任务五设备、管道的检修113

任务六故障处理115

任务七三氯氢硅中杂质含量的分析120

小结121

习题和思考题122

项目四三氯氢硅氢还原制备高纯硅123

任务一三氯氢硅氢还原工作原理123

任务二三氯氢硅氢还原工艺、核心设备结构及操作128

任务三设备、管道保养与维护143

任务四还原工序常见故障判断与处理148

任务五三氯氢硅氢还原工序产品质量要求及控制151

任务六还原生产中热能的综合利用155

任务七高纯材料及半导体相关知识156

小结160

习题和思考题160

项目五尾气干法回收162

任务一还原尾气干法回收的基本原理163

任务二还原尾气干法回收工艺流程167

任务三尾气干法回收主要设备168

任务四设备准备及安全检查176

任务五尾气干法回收原辅材料准备179

任务六尾气干法回收关键及核心设备操作180

任务七尾气回收故障处理184

任务八设备、管道保养与维护185

小结192

习题和思考题192

项目六四氯化硅的综合利用与处理193

任务一四氯化硅的性质193

任务二四氯化硅氢化回收195

任务三四氯化硅处理的其他技术198

小结201

习题和思考题201

项目七硅芯的制备与腐蚀202

任务一硅芯的制备203

任务二硅芯腐蚀208

小结209

习题和思考题210

项目八纯水的制备211

任务一纯水制备原理211

任务二纯水制备工艺流程214

任务三纯水制备系统主要设备及工作原理215

任务四纯水制备系统操作222

任务五纯水的测量228

任务六其他纯水制备法及流程230

小结233

注释233

习题和思考题234

项目九硅烷法制备高纯硅235

任务一硅烷的性质235

任务二原料的制取及处理236

任务三硅烷的发生241

任务四硅烷的提纯246

任务五硅烷热分解制备多晶硅248

小结251

习题和思考题251

参考文献252