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Part G工业应用3

45.千足虫：基于原子力显微镜数据存储系统的纳米技术3

45.1千足虫的概念5

45.2热力学原子力显微镜的数据存储6

45.3阵列设计、技术和制造8

45.4阵列的特性9

45.5三端悬臂的设计11

45.6 x， y，z介质微型扫描仪12

45.7首次32x32阵列芯片写/读结果15

45.8聚合物介质16

45.9读取信道模型23

45.10系统特性26

45.11结论31

参考文献32

46.纳米机器人35

46.1纳米机器人概述36

46.2纳米量级的驱动37

46.3纳米机器人的操作系统39

46.4纳米机器人的装配44

46.5应用53

参考文献56

Part H微/纳米器件的可靠性65

47.微纳机电系统和生物微/纳机电系统：材料、器件、仿生技术65

47.1微/纳机电系统基础66

47.2硅及相关材料的纳米摩擦学和纳米力学研究85

47.3微/纳机电系统的润滑研究93

47.4基于硅和多晶表面生物分子的摩擦学研究以及微纳米级颗粒治疗与诊断100

47.5带有粗糙度诱导超疏水、自清洁、低附着的表面110

47.6组件级研究119

47.7结论130

47.A微米-纳米制造技术131

参考文献135

48.微米-纳米机械中的摩擦和磨损143

48.1从单粗糙到多粗糙摩擦145

48.2纳米反应器概述149

48.3结束语157

参考文献158

49.微/纳机电系统中的失效机制163

49.1失效模式和失效机制164

49.2静摩擦和充电相关的失效机制165

49.3蔓延、疲劳、磨损及封装相关的失效171

49.4结论181

参考文献181

50.微机械结构的机械特性185

50.1薄膜基板的机械性能检测185

50.2测量机械性能的微机械结构187

50.3机械性能的检测系统197

参考文献201

51.微机械产品的大批量生产和市场稳定性205

51.1背景206

51.2制造策略208

51.3强大的制造业210

51.4稳定的市场特征227

参考文献230

52.微/纳米系统的封装和可靠性问题237

52.1微机电系统封装简介237

52.2密封和真空封装及应用243

52.3散热问题和可靠性封装253

52.4未来趋势和总结260

参考文献261

Part Ⅰ技术的融合和纳米技术的管理269

53.纳米技术的管理：社会的、伦理的和人权的问题269

53.1社会科学背景269

53.2人类对纳米技术的影响273

53.3纳米技术的调节276

53.4纳米技术的文化背景278

53.5结论281

参考文献282

主题索引287