多晶硅微机械构件材料力学行为及微机械粘附问题研究2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载

多晶硅微机械构件材料力学行为及微机械粘附问题研究PDF格式电子书版下载

注意：本站所有压缩包均有解压码： 点击下载压缩包解压工具

第1章 引言1

1.1　微型机械研究发展现状1

1.2　微机械构件材料力学行为的研究4

1.3　微机械粘附问题13

1.4　本课题的意义及论文的主要内容17

第2章 多晶硅微悬臂梁的形变特性19

2.1　概述19

2.2　纳米硬度计的工作原理20

2.3　压入载荷下材料的相变23

2.4　纳米硬度计弯曲法影响因素分析27

2.4.1　微悬臂梁的制作28

2.4.2 实验方法29

2.4.3　形状因子30

2.4.4　压入分量31

2.4.5 翘曲分量35

2.4.6　残余应力37

2.4.7　小变形线弹性理论38

2.4.8　大变形非线性理论39

2.5 多晶硅微悬臂梁的力学特性40

本章小结43

第3章 多晶硅微构件的拉伸形变特性45

3.1　概述45

3.2 电磁驱动微拉伸装置47

3.2.1 电磁力的原理与结构47

3.2.2　光纤位移传感器53

3.2.3　标定与测量55

3.3.1 拉伸试件的制备与安装65

3.3 多晶硅微构件的拉伸形变特性65

3.3.2 多晶硅微构件拉伸应力-应变关系68

3.3.3 多晶硅微构件弹性模量的理论与实验比较71

本章小结82

第4章 多晶硅微机械构件材料强度的尺寸效应84

4.1　概述84

4.2　弯曲强度的尺寸效应89

4.3　拉伸强度的尺寸效应92

4.3.1　拉伸强度随体积的变化93

4.3.2　拉伸强度随表面积的变化94

4.3.3　拉伸强度随截面积的变化94

4.3.4　拉伸强度随长度的变化95

4.3.5　拉伸强度随宽度的变化95

4.4 多晶硅微机械构件材料强度的威布尔（Weibull）统计分析97

4.4.1　威布尔（Weibull）统计分析97

4.4.2　拉伸强度的威布尔统计分析100

4.5　拉伸强度尺寸效应的理论分析109

本章小结113

第5章 多晶硅微机械构件材料的损伤特性116

5.1　概述116

5.2 多晶硅微机械构件材料的微结构分析117

5.3 断裂韧性119

5.4　极大似然法估计断裂起源125

5.4.1　极大似然法125

5.4.2　断裂起源127

5.5 断口分析129

5.6.1 表面粗糙度的影响134

5.6　损伤的表面效应134

5.6.2 表面分子自组装膜（Self-Assembled Monolayers:SAMs）的影响141

本章小结148

第6章　微机械粘附及结构稳定性问题151

6.1　概述151

6.2 两平板间的Casimir作用力160

6.2.1 修正前的两平板间的Casimir力160

6.2.2　修正后的两平板间的Casimir力161

6.3 多晶硅薄膜微腔结构在Casimir力作用下的粘附和稳定性问题166

6.3.1　变形方程166

6.3.2　平衡常数K168

6.4　考虑表面效应和尺寸效应的不同表面力作用下的抗粘附结构参数设计176

6.4.1 表面张力作用下稳定的抗粘附多晶硅微悬臂梁结构参数设计177

6.4.2　Casimir力作用下稳定的抗粘附多晶硅薄膜微腔结构尺寸参数设计183

本章小结188

第7章　结论与展望190

参考文献194