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目录1

第三篇 典型仪器设计1

第七章 万能工具显微镜设计1

§7-1 工具显微镜概述1

§7-2 几种万工显的构造原理及特点2

一、19JA型万工显2

二、UMM型万工显8

三、JGW—1S型万工显10

四、带计算机的UWM200×100型万工显13

§7-3 万工显总体方案的确定16

一、纵、横向测量范围的确定16

二、立柱倾斜范围的确定16

三、瞄准显微镜的放大率，视场及工作距离的选择16

四、分划值的确定16

五、被测工件几何尺寸及重量16

六、纵、横向滑台的布局17

七、阿贝原则的运用17

八、基本组成部件及布局18

九、仪器的精度19

§7-4 万工显光学系统参数确定及轮廓尺寸计算20

一、瞄准显微镜光学系统20

二、测角读数显微镜光学系统26

三、投影读数光路28

§7-5 万工显主要零部件的结构分析与设计32

一、瞄准定位部分32

二、导轨及其支承36

一、影响精度的主要因素39

§7-6 万工显的精度分析39

三、底座39

二、19JA型万工显的精度计算49

§7-7 万工显的附件54

一、光学分度台54

二、光学分度头54

三、测量刀54

四、光学定位器57

五、内测装置59

六、干涉条纹法瞄准装置62

一、概况65

§7-8 三座标测量机65

二、三座标测量机的组成67

三、结构型式68

四、机械结构分析69

五、测头71

六、测量系统75

七、精度分析77

三、分度头主要组成部分与布局81

二、仪器的主要组成部分81

一、仪器的技术指标81

§8-1 仪器的技术指标及总体布局81

第八章 1″数字式光栅分度头81

§8-2 光栅及读数头设计82

一、主光栅设计82

二、读数头设计84

三、仪器的光学系统及“分”计数原理88

§8-3 细分机构——弹性鼓设计89

一、对细分机构的要求89

二、测微方案分析90

三、弹性鼓设计91

四、细分机构的放大倍数97

五、细分机构的精度分析97

六、弹性鼓测微精度的检查方法100

七、度、分、秒的配合101

§8-4 主轴系统设计102

一、主轴系统的作用与要求102

二、主轴设计102

三、主轴轴承设计103

二、锁紧机构分析107

一、对分度头锁紧装置的要求107

§8-5 主轴锁紧机构设计107

三、“抱”轴式锁紧机构108

§8-6 光栅度盘与主轴同心度的调整108

一、初调108

二、精调109

§8-7 光栅度盘误差的修正110

第九章 投影仪与光洁度仪器113

§9-1 投影仪113

一、概述113

二、光学系统114

三、几种典型投影仪119

§9-2 光洁度仪器126

一、概述126

二、光切显微镜127

三、干涉显微镜134

四、激光散斑在测量表面光洁度方面的应用149

第十章 干涉计量仪器154

§10-1 干涉仪概述154

§10-2 干涉仪的设计158

一、光源的选择与照明系统159

二、基本干涉体系设计要点165

三、人眼和光电元件作为接收器时需要考虑的问题178

四、机械结构的要求与特点184

五、总体设计举例——激光球面干涉仪的总体设计185

§10-3 激光干涉测长仪器192

一、概述192

二、激光干涉测长系统193

三、一米激光测长机201

四、双频激光干涉仪212

第四篇 光学计量技术与仪器的新领域219

第十一章 相干光计量技术220

§11-1 概述220

§11-2 全息计量技术221

一、概述221

二、全息术的原理与理论221

三、全息干涉计量方法229

四、全息实用技术239

二、计算全息图的原理240

一、概述240

§11-3 计算机全息计量240

三、计算全息图的产生242

四、计量方法242

§11-4 激光散斑计量技术244

一、概述244

二、散斑的形成244

三、变形时散斑的变化245

四、散斑的干涉247

五、散斑变化的检测249

六、散斑计量方法250

七、实用技术255

§11-5 衍射计量技术256

一、计量原理256

二、应用256

第十二章 莫尔等高线计量技术260

§12-1 概述260

§12-2 莫尔等高线的形成260

§12-3 格栅照射法262

§12-4 格栅投影法263

一、假条纹的消除264

§12-5 实用技术264

二、莫尔条纹变形部分检测265

三、等高线间隔变化法266

四、凹凸的判定266

五、扫描莫尔法266

§12-6 应用268

一、莫尔测定机268

二、莫尔等高线显微镜268

四、其他方面269

三、医学上的计量269

第十三章 光扫描计量技术270

§13-1 激光扫描计量270

一、计量原理270

二、装置概要271

三、空间调制扫描计量273

§13-2 三维扫描计量277

一、激光测头277

二、二维曲面测量278

三、三维扫描计量280

第十四章 信息与遥感计测技术284

§14-1 概述284

§14-2 信息计测技术284

一、光传感器284

二、图象信息计测287

§14-3 遥感计测技术294

一、遥感技术基础294

二、多波段遥感技术295

三、遥感技术的主要内容与仪器295