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第1章 绪论1

1.1 特种加工的产生2

1.2 特种加工的分类5

1.3 特种加工对制造工艺技术的影响及发展8

思考题10

第2章 电火花加工11

2.1 电火花加工的概念及分类12

2.1.1 电火花加工的基本概念12

2.1.2 电火花加工的特点13

2.1.3 电火花加工应具备的条件14

2.1.4 电火花加工的类型及适用范围15

2.2 电火花放电的微观过程16

2.2.1 极间介质的电离、击穿，形成放电通道16

2.2.2 介质热分解、电极材料熔化、气化热膨胀18

2.2.3 电极材料的抛出18

2.2.4 极间介质的消电离18

2.3 电火花加工的基本规律19

2.3.1 电火花加工的极性效应19

2.3.2 影响电火花加工蚀除速度的因素20

2.3.3 蚀除（加工）速度和电极损耗的关系23

2.3.4 影响电火花加工精度的主要因素25

2.3.5 电火花加工的表面质量26

2.4 电火花成形加工机床28

2.4.1 电火花成形加工机床的结构及组成28

2.4.2 机床主机各部分的结构及其作用29

2.4.3 脉冲电源33

2.4.4 自动进给机构36

2.4.5 伺服控制系统的类型38

2.4.6 电火花成形加工控制系统40

2.4.7 电火花加工过程中的参数控制43

2.5 电火花成形加工工艺44

2.5.1 电极的制作44

2.5.2 工件的准备及装夹定位48

2.5.3 冲抽油方式的选择49

2.5.4 加工规准的选择49

2.5.5 平动量的分配52

2.6 电火花加工方法53

2.6.1 电火花穿孔加工方法53

2.6.2 电火花型腔加工方法54

2.6.3 电火花铣削加工56

2.7 电火花加工安全防护57

2.7.1 电气安全57

2.7.2 火灾的防止57

2.7.3 有害气体的防护58

2.8 其他电火花加工及复合加工方法58

2.8.1 电火花高速小孔加工58

2.8.2 电火花小孔及深孔磨削62

2.8.3 电火花共轭回转加工与跑合加工62

2.8.4 金属电火花表面强化和刻字63

2.8.5 非导电材料电火花加工65

2.8.6 电火花机械复合磨削68

2.8.7 短电弧加工技术68

2.8.8 放电诱导可控烧蚀及电火花修整70

思考题72

第3章 电火花线切割加工73

3.1 电火花线切割基本原理、特点及应用范围74

3.1.1 电火花线切割加工的原理74

3.1.2 电火花线切割加工的特点75

3.1.3 电火花线切割加工的应用范围75

3.2 电火花线切割机床分类76

3.3 数控电火花线切割机床主机77

3.3.1 高速往复走丝电火花线切割机床的基本组成77

3.3.2 低速单向走丝电火花线切割机床90

3.4 数控电火花线切割机床控制系统96

3.5 数控电火花线切割加工脉冲电源106

3.5.1 高速往复走丝电火花线切割加工脉冲电源106

3.5.2 低速单向走丝电火花线切割加工脉冲电源109

3.6 典型高速走丝机控制系统112

3.7 线切割编程方法及仿形编程113

3.7.1 线切割编程方法113

3.7.2 仿形编程系统115

3.8 电火花线切割加工基本规律117

3.8.1 切割速度117

3.8.2 表面粗糙度123

3.8.3 加工精度127

3.8.4 电极丝损耗及耐用度130

3.8.5 电火花线切割加工工艺131

3.8.6 电火花线切割加工的拓展134

思考题141

第4章 电化学加工142

4.1 概述143

4.1.1 电化学加工的概念143

4.1.2 电化学加工的分类151

4.1.3 电化学加工的特点152

4.2 电解加工152

4.2.1 电解加工原理及其特点152

4.2.2 电解加工的基本规律155

4.2.3 电解液167

4.2.4 电解加工精度171

4.2.5 电解加工设备181

4.2.6 电解加工的应用187

4.3 电沉积加工195

4.3.1 电沉积原理及工艺196

4.3.2 电镀加工198

4.3.3 电铸加工202

4.3.4 特殊形式电沉积208

4.3.5 电沉积发展趋势211

思考题212

第5章 高能束流加工213

5.1 激光加工215

5.1.1 激光加工简介216

5.1.2 典型激光器217

5.1.3 常见激光加工技术226

5.1.4 激光表面加工技术237

5.1.5 其他激光加工技术242

5.2 电子束加工246

5.2.1 电子束加工简介246

5.2.2 电子束加工特点248

5.2.3 电子束加工设备248

5.2.4 电子束加工应用249

5.3 离子束加工253

5.3.1 离子束加工基本原理253

5.3.2 离子束加工特点254

5.3.3 离子束加工设备255

5.3.4 离子束加工应用255

思考题257

第6章 快速成形技术259

6.1 概述260

6.1.1 快速成形技术的概念和原理260

6.1.2 快速成形技术的特点262

6.1.3 快速成形技术的发展历程263

6.2 快速成形技术的典型工艺与应用264

6.2.1 光固化快速成形工艺264

6.2.2 激光选区烧结快速成形工艺267

6.2.3 叠层实体制造快速成形工艺271

6.2.4 熔融沉积制造快速成形工艺273

6.2.5 三维打印快速成形工艺277

6.2.6 其他快速成形工艺简介279

6.3 激光快速制造技术280

6.3.1 激光熔覆快速制造技术280

6.3.2 激光选区烧结快速制造技术282

6.3.3 激光选区熔化快速制造技术284

6.3.4 激光金属板材叠加快速制造技术285

6.4 快速成形技术在生物制造的应用286

6.4.1 生物制造概述286

6.4.2 快速成形技术在生物制造的应用287

思考题290

第7章 微细特种加工技术291

7.1 MEMS系统简介292

7.2 光刻技术294

7.2.1 光刻胶295

7.2.2 光刻工艺流程295

7.3 硅微结构加工技术296

7.3.1 面微结构加工技术297

7.3.2 体微结构加工技术298

7.3.3 键合技术300

7.4 LIGA技术302

7.4.1 LIGA技术原理302

7.4.2 准LIGA技术303

7.4.3 多层光刻胶工艺304

7.5 微细电火花加工306

7.5.1 微细电火花加工特点306

7.5.2 微轴电极制造方法306

7.5.3 微细电火花加工关键技术308

7.5.4 微细电火花加工实例310

7.6 微细电解加工311

7.6.1 脉冲微细电解加工312

7.6.2 微细电解线切割312

7.6.3 电液束流微细电解加工313

7.6.4 微小阵列结构电解加工313

思考题315

第8章 其他特种加工方法316

8.1 超声复合加工317

8.1.1 超声波加工原理317

8.1.2 超声加工特点318

8.1.3 常见超声复合加工319

8.2 气体切割322

8.2.1 气体切割原理322

8.2.2 气体切割特点323

8.2.3 应用气割的条件323

8.3 等离子体加工325

8.3.1 等离子体加工原理325

8.3.2 等离子弧切割325

8.3.3 等离子喷涂326

8.3.4 等离子电弧焊327

8.4 液体喷射加工328

8.4.1 液体喷射加工原理328

8.4.2 液体喷射加工的特点328

8.4.3 液体喷射加工的应用329

8.5 磁化切削330

8.5.1 磁化切削原理330

8.5.2 磁化切削的工艺效果331

8.6 磁性磨料研磨加工332

8.6.1 磁性磨料研磨加工原理332

8.6.2 磁性磨料研磨加工应用实例332

8.7 磨料流加工333

8.7.1 磨料流加工原理333

8.7.2 磨料流加工特点334

8.8 激光预热辅助加工334

8.9 爆炸成形加工335

思考题336

附录 符号说明337

参考文献339