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目录1

刻划与光刻技术述评 浙江大学 曹向群 上海交通大学 黄维实1

光电圆刻机的发展概况及基本原理 中国科学技术大学 邹自强6

高精度光电圆刻线机 重庆大学 黄尚廉 钟先信 杨冠玲 梁铨襄 栾兴林16

计量光栅保护层研究 上海机械学院 陈林 北京303研究所 宋伯伦19

圆光栅均匀性误差研究 上海机械学院 陈林 方银东24

精密主轴的双周晃动现象 中国科学技术大学 邹自强28

提高圆光栅刻划精度的研究 上海机械学院 戴兴庆 陈林35

圆分度微机控制细分法 上海机械学院 胡学良 陈林 方银东39

微机在制作圆光栅和编码盘中的应用 南京光学仪器厂 管俊晨43

多圈法刻划圆光栅 上海机械学院 陈林 戴兴庆48

圆刻机精度检定中的几个问题 浙江大学 曹向群 金彤55

环形莫尔条纹全接收系统设计问题 重庆大学光电精密机械研究所 杨冠玲62

变密度型正弦波光栅的研制 南京光学仪器厂 刘怀道 钟旭67

金属基底刻划红外光栅 上海光学仪器研究所 王国华74

计量光栅的绝对零位 北京303研究所 张玮 张微元80

三色彩色光栅的制造 上海交通大学 黄维实 周良 浙江大学 曹向群87

计量光栅质量指标 新天光学仪器公司 陈继达90

激光定位光栅检拍机 上海市计量技术研究所 杨守忠 陈福珍96

上海科学技术大学精密机械系 吴永方 王志豪98

1m计量光栅刻划机用的两个干涉仪的设计98

激光定位、静态刻划网络机和网络板的研制103

江南光学仪器厂 胡锡华 高志 金文惇 钱方正103

用冠醚提高超微粒干版的分辨率 南京光学仪器厂 钟旭 刘怀道107

光学精密照相复制D-PVA感光胶的研制及其应用112

新天光学仪器公司 郑大千 周建军112

用光刻胶复制高精度黑铬度盘工艺 中国科学院南京天文仪器厂 陆翡翠117

光学干版和制版软片的研究 西北光学仪器厂 聂华生123

远紫外光刻的实验研究 中国科学院光电所 王兴无 杨云歧 邵慧玉129

横向微细加工一瞥——亚微米级和纳米级加工综述 常州半导体厂 黄德源134

应用相干光技术测量光掩膜线宽 复旦大学 王家楫139

计量光栅均匀性误差的检测 长春光机所 李明媛 杨进堂144

自动度盘检查仪的原理和应用 上海光学仪器厂 陈宗锡 陆忠 李亚君 高宜林150

度盘格线误差检定 上海交通大学 黄维实 浙江大学 曹向群156

高精度度盘检测装置 苏州第一光学仪器厂 沈家麟 戴泳芳 刘杏定159

计量光栅光学特性的测试研究 浙江大学 金彤163

检测圆光栅的光电定角比相法 长春光机所十六室检测组167

圆光栅直径误差数字化自动检测 浙江大学 沈颂 曹向群 陈远绳176

圆光栅的检测及数据处理 中科院光电研究所 吕文松 魏爱敏 赵安太182

六十进制光电圆分度检验仪的使用效果 长春光机所 朱应时 孙承浦 李桂霞192