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第一章　概述1

1—1 现代技术领域中的传感器技术1

1—1—1　传感器的地位与作用1

目录1

1—1—2　传感器的应用与发展7

1—2　传感器的定义、特点及工作的物理基础12

1—2—1　传感器的定义12

1—2—2　传感器的特点17

1—2—3　传感器的工作物理基础20

1—3—1　传感器的分类33

1—3　传感器的分类、性能及静态指标33

1—3—2　传感器的性能40

1—3—3　传感器的静态特性43

第二章　应变式传感器51

2—1　历史及现状51

2—2　基本工作原理54

2—2—1　金属材料的电阻应变效应54

2—2—2　粘贴结构的应变传递模型56

2—3—1　传感器用电阻应变片61

2—3　电阻应变片61

2—3—2　新型结构的箔式应变片68

2—3—3　传感器用片基材料72

2—3—4　温度自补偿应变片76

2—3—5　传感器用应变片的标准83

2—4　胶水及其有关工艺86

2—4—1　胶的类型与国外常用胶86

2—4—2　国内常用胶91

2—4—3　粘贴工艺与表面处理94

2—4—4 固化、后固化及防潮处理97

2—4—5　胶层厚度与蠕变102

2—5　弹性元件材料106

2—5—1　对材料的要求及国外常用钢材106

2—5—2　若干特殊合金材料110

2—5—3 国内常用钢材与处理规范112

2—5—4　弹性元件材料的稳定处理115

2—5—5　典型弹性元件的工艺流程119

2—6　应变式传感器的结构与设计120

2—6—1　压力传感器的主要结构类型123

2—6—2　力传感器的主要结构类型135

2—6—3　柱、环及梁式正应力传感器140

2—6—4　轮幅及各种梁式剪应力传感器146

2—6—5　传感器的补偿技术160

2—6—6　设计技术的新发展167

2—7　二次仪表电路174

2—7—1　基本方案与性能比较175

2—7—2　交流与直流供电电路178

2—7—3　传感器数据采集系统183

2—7—4　数据采集系统的新发展189

第三章　其余主要类型传感器195

3—1　半导体传感器195

3—1—1　概述及特点195

3—1—2　半导体应变片与压阻传感器200

3—1—3　压阻压力传感器的设计、工艺及结构211

3—1—4　压阻压力传感器的特殊品种226

3—1—5　其余物理及化学量传感器236

3—2—1　概述及特点252

3—2　电容式传感器252

3—2—2　主要种类255

3—2—3 差动压差式传感器的设计与工艺269

3—2—4　二次仪表电路271

3—3　压电式传感器282

3—3—1　概述、原理及特点282

3—3—2 振动与冲击传感器的设计294

3—3—3 国外典型加速度计性能汇总307

3—3—4力、压力及压电应变计307

3—3—5二次仪表电路314

第四章　传感器的若干发展方向327

4—1　概述及光纤传感器327

4—1—1　概述327

4—1—2　光纤传感器328

4—2　有源化333

4—2—1　应变有源传感器333

4—2—2　压电有源传感器343

4—2—3　压阻有源传感器348

主要参考资料359