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第1章 超高真空技术概述1

1.1 气体分子热运动速度2

1.2 气体分子的平均自由程λ3

1.3 气体分子碰撞次数7

1.3.1 气体分子之间（或电子与气体分子间）的碰撞次数7

1.3.2 分子与器壁碰撞数（碰撞频度）7

1.4 气体压力8

1.5 表面形成单分子层的时间8

1.6 气体分子在材料表面的吸附9

1.6.1 物理吸附速率方程10

1.6.2 化学吸附速率方程11

1.7 脱附速率11

1.7.1 一级脱附速率12

1.7.2 二级脱附速率12

1.8 吸附等温线（平衡状态下吸附量）13

第2章 超高真空泵16

2.1 超高真空油扩散泵16

2.1.1 超高真空油扩散泵的极限压力16

2.1.2 泵的返油率17

2.1.3 挡油帽18

2.1.4 挡板19

2.1.5 冷阱20

2.1.6 气体的反扩散20

2.1.7 扩散泵油22

2.1.8 扩散泵油分馏装置23

2.1.9 扩散泵的抽气速率24

2.1.10 扩散泵临界前级压力27

2.1.11 扩散泵的加热功率29

2.1.12 扩散泵的不稳定性29

2.2 涡轮分子泵30

2.2.1 涡轮分子泵的结构、抽气原理30

2.2.2 分子泵的抽速和压缩比31

2.2.3 涡轮分子泵极限压力35

2.2.4 涡轮分子泵轴承及动平衡36

2.2.5 涡轮分子泵操作与运转37

2.2.6 国产立式涡轮分子泵38

2.3 溅射离子泵39

2.3.1 溅射离子泵抽气原理39

2.3.2 二极溅射离子泵的抽速42

2.3.3 二极溅射离子泵的极限压力44

2.3.4 二极溅射离子泵的不稳定性44

2.3.5 二极溅射离子泵的改进46

2.3.6 溅射离子泵的磁场与漏磁48

2.3.7 溅射离子泵的启动特性49

2.3.8 溅射离子泵的预抽50

2.3.9 溅射离子泵的使用寿命51

2.3.10 溅射离子泵性能参数51

2.4 低温泵52

2.4.1 概述52

2.4.2 低温泵的分类53

2.4.3 低温泵的极限压力54

2.4.4 低温泵的抽速56

2.4.5 低温泵的热负荷63

2.4.6 低温泵的制冷时间67

2.4.7 低温泵工作寿命67

2.4.8 低温泵的启动压力（转换压力）69

2.4.9 贮槽式低温泵70

2.4.10 氦流程低温泵71

2.4.11 小型制冷机低温泵74

第3章 超高真空用法兰、阀门、冷阱85

3.1 金属超高真空法兰85

3.1.1 Batzer密封法兰86

3.1.2 角形密封法兰87

3.1.3 Wheeler法兰87

3.1.4 ConFlat法兰88

3.1.5 阶梯密封法兰88

3.1.6 金属密封法兰标准89

3.2 氟橡胶密封超高真空法兰90

3.3 真空管路及真空规管接头92

3.3.1 超高真空管路接头型式92

3.3.2 真空计规管接头92

3.3.3 柔性管路93

3.4 真空传动部件94

3.4.1 膜片、波纹管传动94

3.4.2 磁力传动95

3.4.3 磁流体传动密封99

3.4.4 液态金属密封103

3.5 电极引入部件、观察窗105

3.5.1 电极引入部件105

3.5.2 观察窗111

3.6 真空阀门113

3.6.1 真空阀门的分类113

3.6.2 真空阀门基本型号114

3.6.3 超高真空阀门115

3.6.4 挡板和阱118

第4章 超高真空测量123

4.1 概述123

4.2 全压力测量125

4.2.1 超高真空全压力测量的要求125

4.2.2 B-A型热阴极超高真空电离计126

4.2.3 其他超高真空热阴极电离计128

4.2.4 冷阴极超高真空电离计132

4.2.5 超高真空校准136

4.2.6 测量方法及影响测量因素138

4.3 分压力测量及气体成分分析140

4.3.1 超高真空气体成分分析及分压力测量对真空质谱计的要求140

4.3.2 常用术语及真空质谱计主要技术指标140

4.3.3 超高真空用的质谱计144

4.3.4 超高真空系统残余气体成分分析157

4.3.5 真空系统气体组分的分压力测量159

4.3.6 超高真空分压力测量常用数据表162

第5章 超高真空系统166

5.1 概述166

5.2 玻璃超高真空系统170

5.2.1 超高真空常用玻璃171

5.2.2 玻璃的封接172

5.2.3 玻璃的放气与除气174

5.2.4 玻璃的渗氦178

5.2.5 玻璃真空系统制作179

5.3 金属超高真空系统181

5.3.1 金属超高真空系统设计181

5.3.2 超高真空抽气机组192

第6章 超高真空系统检漏、运转与维护202

6.1 超高真空系统的安装202

6.2 超高真空系统的检漏202

6.2.1 真空系统（容器、部件）漏气的判断202

6.2.2 真空系统允许的最大漏率203

6.2.3 系统漏率的测量204

6.2.4 检漏仪、检漏方法和示漏物质的选择207

6.2.5 真空设备检漏须知224

6.3 超高真空系统的运转227

6.3.1 超高真空系统的预抽（粗抽）227

6.3.2 超高真空系统烘烤除气228

6.3.3 超高真空泵操作注意事项230

6.3.4 超高真空系统的维护232

参考文献235