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第1章 太阳能电池1

1.1 太阳能电池的分类1

1.2 晶体硅太阳能电池2

1.2.1 单晶硅太阳能电池2

1.2.2 多晶硅太阳能电池4

1.3 薄膜太阳能电池5

1.3.1 硅基薄膜太阳能电池5

1.3.2 染料敏化电池7

1.3.3 化合物太阳能电池8

1.3.4 有机太阳能电池10

第2章 晶体硅太阳能电池制造11

2.1 制造晶体硅太阳能电池的原材料11

2.2 晶体硅太阳能电池制造设备12

2.2.1 清洗制绒设备12

2.2.2 烘干机13

2.2.3 D8积分反射仪13

2.2.4 扩散炉14

2.2.5 刻蚀机——等离子刻蚀机14

2.2.6 PECVD15

2.2.7 丝网印刷机15

2.2.8 快速烧结炉15

2.2.9 四探针式电阻率／方块电阻测试仪15

2.3 晶体硅太阳能电池制造流程16

第3章 清洗制绒17

3.1 硅片清洗制绒17

3.1.1 硅片清洗17

3.1.2 硅片制绒18

3.2 晶体硅清洗制绒流程19

3.2.1 单晶硅清洗制绒流程19

3.2.2 多晶硅清洗制绒流程19

3.3 操作清洗制绒机20

3.3.1 操作单晶硅清洗制绒机20

3.3.2 操作多晶硅清洗制绒机21

3.4 操作烘干机22

3.5 使用D8积分反射仪检测硅片24

3.5.1 开关机步骤24

3.5.2 使用步骤24

3.5.3 注意事项25

第4章 扩散制结27

4.1 硅片的扩散制结27

4.2 方块电阻29

4.3 扩散炉操作29

4.3.1 开机操作29

4.3.2 生产操作31

4.3.3 关机操作32

4.3.4 维修保养33

4.3.5 生产提示-信号指示灯34

4.4 三氯氧磷（POCl3）液态源扩散生产34

4.4.1 POCl3简介34

4.4.2 POCl3扩散原理35

4.4.3 磷扩散工艺过程35

4.5 扩散方块电阻测试38

4.6 清洗石英舟39

第5章 刻蚀41

5.1 硅片的刻蚀41

5.2 等离子刻蚀生产42

5.3 去磷硅玻璃（PSG）43

5.3.1 操作过程43

5.3.2 工艺参数44

5.3.3 注意事项45

5.4 操作SCHMID清洗机45

5.5 RENA二次清洗作业48

5.5.1 RENA二次清洗作业工艺流程49

5.5.2 监控53

5.5.3 注意事项53

第6章 镀减反射膜55

6.1 减反射膜工作原理55

6.1.1 镀减反射膜的作用58

6.1.2 减反射膜的原理60

6.2 有机镜片的减反射膜镀膜技术61

6.3 管式PECVD镀膜62

6.4 管式PECVD设备操作65

第7章 丝网印刷电极生产73

7.1 可印材料73

7.2 导体材料成分及其在太阳能电池结构中的作用75

7.2.1 金属-半导体接触电阻76

7.2.2 厚膜导体电阻77

7.3 丝网印刷77

7.4 丝网印刷生产83

7.5 烧结89

7.6 精细电极工艺89

第8章 晶体硅太阳能电池的检测91

8.1 晶体硅太阳能电池性能测试概述91

8.1.1 太阳能电池测试系统的分类与组成93

8.1.2 太阳能电池测试原理94

8.2 测试分选机操作97

8.3 晶体硅太阳能电池测试104

参考文献111