图书介绍

硕士学位论文 EACVD金刚石成膜设备与技术的研究2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载

硕士学位论文 EACVD金刚石成膜设备与技术的研究
  • 吴海兵 著
  • 出版社: 南京航空航天大学
  • ISBN:
  • 出版时间:2002
  • 标注页数:56页
  • 文件大小:10MB
  • 文件页数:64页
  • 主题词:

PDF下载


点此进入-本书在线PDF格式电子书下载【推荐-云解压-方便快捷】直接下载PDF格式图书。移动端-PC端通用
种子下载[BT下载速度快]温馨提示:(请使用BT下载软件FDM进行下载)软件下载地址页直链下载[便捷但速度慢]  [在线试读本书]   [在线获取解压码]

下载说明

硕士学位论文 EACVD金刚石成膜设备与技术的研究PDF格式电子书版下载

下载的文件为RAR压缩包。需要使用解压软件进行解压得到PDF格式图书。

建议使用BT下载工具Free Download Manager进行下载,简称FDM(免费,没有广告,支持多平台)。本站资源全部打包为BT种子。所以需要使用专业的BT下载软件进行下载。如BitComet qBittorrent uTorrent等BT下载工具。迅雷目前由于本站不是热门资源。不推荐使用!后期资源热门了。安装了迅雷也可以迅雷进行下载!

(文件页数 要大于 标注页数,上中下等多册电子书除外)

注意:本站所有压缩包均有解压码: 点击下载压缩包解压工具

图书目录

第一章 绪论1

1.1 金刚石的优异性能1

1.2 化学气相沉积(CVD)法概述3

1.2.1 CVD法的产生背景3

1.2.2 CVD法的原理4

1.2.3 CVD法生成金刚石膜的过程和基本条件4

1.2.4 CVD法的发展5

1.3 金刚石膜的检测5

1.4 本文的主要工作6

第二章 CVD法概述8

2.1 CVD法的非平衡热力学耦合模型8

2.2 CVD法生长金刚石膜的动力学模型9

2.3 常用CVD金刚石膜的合成方法12

2.3.1 热丝CVD法12

2.3.2 电子辅助热丝 CVD法13

2.3.3 直流等离子体化学气相沉积(DC-PCVD)法13

2.3.4 射频等离子体化学气相沉积(Rf—PCVD)法14

2.3.5 微波等离子体化学气相沉积(MW—PCVD)法14

2.3.6 电子回旋共振微波CVD法16

2.3.7 脉冲等离子体化学气相沉积法17

2.3.8 火焰燃烧法18

2.3.9 新发展的方法19

2.4 CVD法沉积金刚石薄膜的发展方向19

2.4.1 CVD法总结19

2.4.2 当前产业化中要解决的关键技术20

2.4.3 CVD法金刚石膜研究展望22

第三章 金刚石膜沉积设备的结构与控制系统23

3.1 成膜方法的选择23

3.2 设备的总体方案24

3.2.1 设备的工作原理24

3.2.2 设备的总体结构25

3.2.3 设备的各部分设计28

3.3 设备设计中的细节问题32

3.3.1 衬底材料的选择32

3.3.2 热丝材质的选择33

3.3.3 热丝装置的设计33

3.3.4 设备冷却系统的设计34

3.3.5 真空反应室的密封设计35

3.3.6 设备的气源设计35

3.3.7 其它关键的设计37

第四章 金刚石膜沉积工艺研究39

4.1 金刚石膜生成的基本条件39

4.2 设备的工艺流程39

4.2.1 衬底表面预处理39

4.2.2 热丝碳化处理40

4.2.3 金刚石膜成核及生长41

4.2.4 金刚石膜与衬底分离44

4.3 金刚石膜微观结构及质量分析45

4.4 金刚石膜质量与主要工艺参数的关系47

4.4.1 甲烷浓度的影响47

4.4.2 热丝和衬底温度的影响48

4.4.3 热丝和衬底间距的影响48

第五章 结束语49

5.1 工作总结49

5.2 工作展望49

参考文献51

攻读硕士学位期间发表的论文55

致谢56

热门推荐