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第1章 绪论1

1.1 概述1

1.1.1 前景展望2

1.1.2 基础知识介绍3

1.2 集成电路制造中的质量与可靠性管理8

1.2.1 芯片制造流程8

1.2.2 质量与良率的管理13

1.2.3 可靠性管理16

1.3 质量与可靠性的创新19

1.4 思考提高加油站23

第2章 质量管理与工程25

2.1 质量的介绍25

2.1.1 概述25

2.1.2 定义25

2.1.3 质量的发展［23］26

2.1.4 质量人29

2.1.5 中国质量奖30

2.1.6 工业4.031

2.2 质量管理简介32

2.2.1 质量保证和质量控制32

2.2.2 集成电路制造的特点33

2.2.3 质量管理的原则34

2.3 质量管理体系35

2.3.1 概述35

2.3.2 ISO 900036

2.3.3 ISO／TS 16949和TL 900037

2.4 质量管理与工程的工具40

2.4.1 质量管理七大工具40

2.4.2 抽样技术42

2.4.3 实验设计43

2.4.4 测量系统分析44

2.4.5 8D问题求解法45

2.4.6 其他工具和方法47

2.5 统计过程控制48

2.5.1 过程的概念49

2.5.2 统计过程控制的概念［38］50

2.5.3 过程的控制与改善51

2.5.4 数理统计方法的应用53

2.6 质量管理的创新57

2.6.1 螺旋上升的模式——四大要素57

2.6.2 取长补短齐进步——一致性58

2.6.3 稳中求进——稳定性62

2.6.4 防患胜于治疗——前侦性64

2.6.5 说、写、做一致——纪律性71

2.6.6 创新的土壤——培训体系73

2.7 质量工程的创新76

2.7.1 统计过程控制的应用76

2.7.2 双重控制线的灵活设定78

2.7.3 最佳WAT设定80

2.7.4 参数控制系统的全局优化方法81

2.7.5 生产设备监控82

2.7.6 其他创新84

2.8 集成电路制造的质量管理85

2.8.1 质量管理的系统85

2.8.2 原物料管理87

2.8.3 生产过程管理88

2.8.4 出货管理90

2.8.5 外包商质量管理90

2.9 总结92

2.10 思考提高加油站92

第3章 可靠性管理与工程95

3.1 可靠性的介绍96

3.1.1 概述96

3.1.2 可靠性定义与分类97

3.1.3 可靠性的数学描述99

3.2 集成电路的可靠性介绍103

3.2.1 概述103

3.2.2 代工厂的可靠性工程104

3.2.3 集成电路可靠性面临的挑战106

3.2.4 可靠性工作内容介绍107

3.3 工艺可靠性工程与创新113

3.3.1 概述113

3.3.2 工艺可靠性评估项目介绍114

3.3.3 工艺可靠性的创新129

3.4 产品可靠性工程与创新134

3.4.1 概述134

3.4.2 工作寿命测试134

3.4.3 鲁棒性（Robustness）测试137

3.4.4 环境测试138

3.4.5 产品可靠性的创新140

3.4.6 通用型老化测试板设计与应用142

3.5 集成电路可靠性管理与创新145

3.5.1 概述145

3.5.2 早期侦测148

3.5.3 植入式可靠性系统165

3.6 总结177

3.7 思考提高加油站178

第4章 失效分析180

4.1 失效分析介绍180

4.1.1 基本概念180

4.1.2 失效分析的作用180

4.1.3 失效分析的发展181

4.2 失效分析的流程和方法181

4.2.1 失效分析基本原则181

4.2.2 失效分析基本流程和常用方法182

4.2.3 失效分析流程的灵活处理方法184

4.3 失效分析技术184

4.3.1 实验室常用的集成电路失效分析设备184

4.3.2 失效点定位分析技术186

4.3.3 物性失效分析技术198

4.4 失效分析案例214

4.4.1 EMMI失效点定位分析案例214

4.4.2 OBIRCH失效点定位分析案例215

4.4.3 电压衬度和纳米探针定位的失效分析案例218

4.4.4 逻辑电路扫描链失效分析220

4.4.5 SIMS失效分析案例220

4.4.6 小结223

4.5 失效分析中的技术创新224

4.5.1 实用定位技巧224

4.5.2 实用分析技术及技巧227

4.5.3 失效分析制样方法的创新及改进230

4.6 总结239

4.7 思考提高加油站239

英文索引241

参考文献255