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第1章 光学镜头优化设计概述1

1.1 引言1

1.2 光学镜头设计中常用优化方法的数学原理2

1.2.1 适应法3

1.2.2 阻尼最小二乘法4

1.2.3 阻尼因子ρ、权重因子μj和评价函数φ4

1.2.4 边界条件5

第2章 简单镜头设计实例7

2.1 He-Ne激光光束聚焦物镜设计7

2.1.1 镜头片数及玻璃选择的考虑和初步分析7

2.1.2 以“正前凸”型为基础的高折射率双片镜头的优化设计11

2.1.3 以“负前凸”型为基础的高折射率双片镜头的优化设计22

2.1.4 以“负前凹”型为基础的高折射率双片镜头的优化设计28

2.2 激光扫描物镜设计37

2.2.1 自行构造评价函数优化设计激光扫描物镜39

2.2.2 利用ZEMAX程序提供的默认评价函数优化设计激光扫描物镜46

2.3 -5x显微物镜设计52

2.3.1 依据初级像差理论求解初始结构53

2.3.2 -5x显微物镜的优化设计例155

2.3.3 -5x显微物镜的优化设计例259

第3章 三片镜头设计实例65

3.1 三片摄影物镜的优化设计65

3.1.1 Richard Ditteon三片摄影物镜的初始解65

3.1.2 Richard Ditteon三片摄影物镜的优化设计例169

3.1.3 Richard Ditteon三片摄影物镜的优化设计例295

3.2 三片数码相机物镜的优化设计112

3.3 大孔径望远物镜优化设计例1130

3.4 大孔径望远物镜优化设计例2140

3.5 三片低折射率激光聚焦物镜的优化设计145

3.6 测距仪接收系统的优化设计151

第4章 中等复杂镜头设计实例156

4.1 中倍李斯特显微物镜优化设计例1156

4.1.1 用改进了的配合法设计李斯特显微物镜157

4.1.2 优化校正李斯特物镜的像散例1167

4.1.3 优化校正李斯特物镜的像散例2176

4.2 中倍李斯特显微物镜优化设计例2197

4.3 四片放映物镜优化设计例1208

4.4 四片放映物镜优化设计例2222

4.5 双高斯物镜优化设计例1243

4.6 双高斯物镜优化设计例2257

4.7 双高斯物镜优化设计例3265

第5章 非球面镜头设计实例278

5.1 引言278

5.2 非球面激光光束聚焦物镜优化设计280

5.3 孔径角大于62°、后工作距大于22mm的非球面聚光镜优化设计284

5.4 非球面光电转换耦合镜头优化设计294

5.5 总长短的非球面广角物镜优化设计301

第6章 复杂镜头设计实例326

6.1 紫外投影光刻物镜的光路分析、消像差方案及初始基型选择326

6.2 紫外投影光刻物镜后半部ga的优化设计329

6.3 紫外投影光刻物镜前半部gb的优化设计337

6.4 紫外投影光刻物镜的优化设计340

6.5 优化改进参考文献［17］中的光刻物镜范例354

附录361

附录A 初级像差系数361

附录B 平行平板的初级像差系数362

附录C 薄透镜初级像差系数的PW表示式363

附录D 双胶薄透镜的求解步骤364

参考文献366