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1 概论1

2 鉴相型容栅传感器及信号处理的基本原理4

2.1 鉴相型容栅传感器的基本结构和工作原理4

2.2 数显表的基本结构和工作原理10

3 调相型容栅传感器的移相原理14

3.1 调相型容栅传感器的基本结构和等效电路14

3.2 基本通式14

3.3 ui（t）和ci（x）的波形特征15

3.4 对基波求解16

4 调相型容栅传感器的数学模型19

4.1 问题的提出19

4.2 简化模型20

4.3 实际的数学模型24

5.2 典型分析34

5 鉴相型容栅传感器原理性误差的分析34

5.1 输出函数的通式34

5.3 结论37

6 容栅传感器原理的二维时空分析和矩阵理论38

6.1 容栅传感器的基本结构和基本原理38

6.2 激励函数的时空特性及其分析39

6.3 电容耦合函数的空间特征及分析44

6.4 输出函数的特征和分析49

6.5 t时刻的u（x，t）和x的关系53

6.6 v（t）的解调函数D（t）的特征及矩阵表示54

6.7 v（t）的形状特征函数S（t）56

6.8 二维c（x，t）及二维v（x，t）的含义60

6.9 容栅传感器的平均效应61

6.10 根据容栅传感器的调相原理提出的几种鉴相型信号处理系统64

6.11 容栅传感器的调幅特性及其鉴幅型信号处理系统65

7 鉴相型容栅传感器的动尺和定尺的几何精度的误差分析70

7.1 误差分析的基本原理70

7.2 Δx的通式的建立72

7.3 对通式的讨论73

7.4 容栅传感器几何误差对测量准确度影响的矩阵分析75

7.5 其他讨论79

8 位置测量系统概述81

8.1 测量系统的分类81

8.2 位置测量系统的主要性能指标83

9 脉冲移相法鉴相型容栅测量系统84

9.1 脉冲移相器84

9.2 鉴相器86

9.4 相差限制电路87

9.3 相位差值门槛与防闪电路87

9.5 计数脉冲门88

9.6 显示计数系统88

10 鉴相型有源容栅位移传感器的动态直读法测量系统89

10.1 动态直读法鉴相原理89

10.2 动态直读法的实现方法91

11 鉴相型容栅传感器的频率相减法测量系统94

11.1 锁相环路的工作原理94

11.2 锁相倍频（电子细分）95

11.3 频率相减电路96

12 数显卡尺集成电路分析简介99

12.1 概况99

12.2 芯片的外部结构99

12.3 芯片的性能指标99

12.4 容栅电路的电路结构99