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第1章 概论1

1.1 洁净技术的由来与发展1

1.1.1 洁净技术的由来1

1.1.2 洁净技术的发展与应用2

1.2 洁净室标准5

1.2.1 空气洁净度等级5

1.2.2 国际洁净室标准7

1.2.3 我国的洁净室标准13

参考文献20

第2章 洁净厂房的总体设计21

2.1 洁净厂房的设计特点21

2.2 各行业要求的空气洁净度22

2.2.1 产品质量与空气洁净环境22

2.2.2 各行业要求的空气洁净度等级26

2.3 总体布置与厂址选择34

2.3.1 厂址选择34

2.3.2 总平面布置35

2.4 洁净室的布置36

2.4.1 平面布置36

2.4.2 空间布置39

2.4.3 人员净化和生活用室41

2.4.4 物料净化与物流48

参考文献50

第3章 洁净室建筑52

3.1 洁净室与建筑设计52

3.1.1 洁净室建筑设计的特点52

3.1.2 洁净厂房的组成52

3.1.3 洁净室建筑设计要点53

3.2.1 布置要求54

3.2 建筑平面和空间布置54

3.2.2 人净与生活用室的布置57

3.2.3 物料净化58

3.2.4 管线组织59

3.2.5 技术夹层、技术夹道62

3.2.6 发展的灵活性64

3.2.7 建筑造型65

3.3 防火与疏散66

3.3.1 特点及防火等级66

3.3.2 防火分区68

3.3.3 安全疏散69

3.3.4 防火与建筑材料71

3.4.2 洁净室的外围护结构72

3.4 洁净室构造和装配化72

3.4.1 洁净室的气密构造的意义72

3.4.3 门窗的气密构造73

3.4.4 墙板、吊顶板的气密构造75

3.4.5 高效过滤器、灯孔等的安装及密封构造76

3.4.6 洁净室装配化77

3.5 建筑装饰82

3.5.1 洁净室建筑装饰特点82

3.5.2 地面装饰83

3.5.3 墙板、顶棚的装饰86

参考文献87

第4章 空气净化88

4.1 污染源及污染物质88

4.1.1 气溶胶与粒状污染物88

4.1.2 微生物及其他生物粒子93

4.1.3 外部污染源96

4.1.4 室内污染源99

4.1.5 空气含尘浓度与含菌浓度102

4.2 空气净化方法107

4.2.1 空气净化处理107

4.2.2 空气过滤机理108

4.2.3 空气过滤器的特性113

4.2.4 空气过滤器117

参考文献132

第5章 净化空调系统设计133

5.1 净化空调系统的分类133

5.1.1 净化空调系统的特征133

5.1.2 净化空调系统的分类133

5.1.3 集中式净化空调系统134

5.1.4 分散式净化空调系统135

5.1.5 洁净厂房空气循环系统135

5.1.6 新风处理系统139

5.2 气流流型140

5.2.1 气流流型及分类140

5.2.2 单向流流型及单向流洁净室140

5.2.3 非单向流流型及其洁净室143

5.2.4 混合流及其洁净室145

5.3 压差控制及送风量146

5.3.1 洁净室压差的作用146

5.3.2 压差控制146

5.3.3 洁净送风量计算148

5.3.4 洁净室新风量151

5.4.1 计算参数的选择152

5.4 空调处理方案152

5.4.2 空调处理方案155

5.4.3 特殊空调系统的空气处理159

5.5 空气洁净设备161

5.5.1 空气吹淋室和气闸室161

5.5.2 洁净工作台、生物学安全柜163

5.5.3 层流罩166

5.5.4 余压阀166

5.6 洁净室的排风装置与防排烟设计167

5.6.1 洁净室的局部排风167

5.6.2 排风装置的分类及处理设备168

5.6.3 排风系统用材料170

5.6.4 洁净室的防排烟设计170

参考文献171

6.1.1 给水172

第6章 洁净厂房的公用动力设施172

6.1 给水排水设施172

6.1.2 排水及废水处理174

6.2 纯水设备176

6.2.1 纯水水质176

6.2.2 去除溶解离子178

6.2.3 去除有机物185

6.2.4 去除微粒185

6.2.5 去除细菌187

6.2.6 去除溶解气体187

6.2.7 去除硅188

6.2.8 纯水制备系统188

6.2.9 纯水在线测量191

6.3.1 气体品质193

6.3 高纯气体设施193

6.3.2 高纯气体供应系统200

6.3.3 高纯气主要设备简介206

6.3.4 高纯气配管及材质217

6.3.5 供气系统的安全技术222

6.3.6 高纯气体的检测225

6.4 电气设备与照明229

6.4.1 洁净室的电气设备229

6.4.2 洁净客室安全防护设备235

6.4.3 洁净厂房的配电设计和安装236

6.4.4 照明设计241

参考文献259

7.1.1 概述260

7.1 微振动控制260

第7章 洁净室的环境控制260

7.1.2 精密设备(仪器、仪表)微振动控制值的确定261

7.1.3 场地环境振动262

7.1.4 防微振工程设计程序271

7.1.5 防微振工程设计272

7.2 静电防护295

7.2.1 静电的产生、积累与消散295

7.2.2 静电效应与危害299

7.2.3 静电的消除303

7.2.4 静电测量311

7.3 电磁干扰的防止314

7.3.1 电磁干扰及危害314

7.3.2 洁净厂房内的电磁干扰316

7.3.3 电磁干扰的控制317

7.3.4 电磁屏蔽的设计319

7.3.5 屏蔽室的设置与安装施工321

7.4 噪声控制324

7.4.1 噪声控制的意义和基本程序324

7.4.2 噪声控制的基本物理量324

7.4.3 噪声控制标准和噪声测量330

7.4.4 洁净厂房的噪声控制333

7.4.5 隔声336

7.4.6 吸声340

7.4.7 消声344

参考文献348

8.1.2 洁净室施工内容350

8.1.1 洁净室的主要施工程序350

8.1 简述350

第8章 洁净厂房施工安装350

8.2 洁净室建筑装饰施工351

8.2.1 建筑装饰施工351

8.2.2 装配式洁净室的施工352

8.3 净化空调系统的施工安装356

8.3.1 施工安装要求356

8.3.2 金属风管和制作357

8.3.3 风管及附件的清洗361

8.3.4 风管及附件安装363

8.3.5 空调机组的安装364

8.3.6 高效空气过滤器的安装364

8.3.7 通风机安装366

8.4 配管安装施工367

8.4.1 配管种类和附件管材选择367

8.3.8 净化设备的安装367

8.4.2 PVDF管施工安装368

8.4.3 PFA管道安装施工374

8.4.4 EP管的安装施工378

8.5 改造洁净室设计施工384

8.5.1 特点384

8.5.2 改造洁净室的设计原则385

8.5.3 洁净室的升级改造388

8.5.4 设计施工注意事项389

8.6 工程验收391

8.6.1 洁净室验收要求391

8.6.2 工程竣工验收内容392

8.6.3 洁净室的综合性验收393

参考文献394

9.1.1 检测程序395

9.1.2 检测内容395

第9章 洁净室的检测与认证395

9.1 检测程序及要求395

9.2 检测方法及评定标准397

9.2.1 高效过滤器检漏397

9.2.2 静压差399

9.2.3 风速、风量的测定399

9.2.4 洁净度的测定403

9.2.5 微生物测定405

9.2.6 温湿度检测409

9.2.7 照度测定410

9.2.8 噪声检测410

9.2.9 表面导静电性能测定410

9.3.1 认证的目的和程序411

9.3 洁净室的认证411

9.2.10 气流流型411

9.2.11 自净时间411

9.3.2 认证内容及测试方法412

9.3.3 认证报告及内容413

参考文献413

第10章 洁净室的运行管理415

10.1 洁净室的管理及定期检查415

10.1.1 管理的意义415

10.1.2 管理的原则、内容417

10.2 人员管理418

10.2.1 人员与室内空气污染418

10.2.2 洁净室专职管理人员及职责421

10.2.3 洁净室人员数量和出入管理421

10.2.4 洁净室的卫生管理423

10.2.5 对进入洁净室人员的培训教育424

10.2.6 洁净工作服424

10.3 洁净室的清扫、灭菌429

10.3.1 洁净室的清扫429

10.3.2 洁净室灭菌430

10.4 设备管理432

10.4.1 洁净室设备管理内容432

10.4.2 生产工艺设备和工器具的防污染管理措施435

10.5 洁净室的节能435

10.5.1 洁净室的节能潜力435

10.5.2 节能技术措施436

10.5.3 洁净室节能措施实例440

参考文献445