图书介绍
用硅烷法制取半导体硅2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载
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- 长沙玻璃厂,湖南省革命委员会生产指挥组科技情报服务站编 著
- 出版社: 长沙:湖南人民出版社
- ISBN:15109·70
- 出版时间:1971
- 标注页数:106页
- 文件大小:3MB
- 文件页数:114页
- 主题词:
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图书目录
目录1
一、概述1
(一)半导体硅的性能及用途1
(二)半导体硅的制备方法及比较3
二、硅烷的制备6
(一)硅烷的性质和用途6
(二)硅烷的制备方法12
(三)用卤铵盐在液氨中分解硅化镁制备硅烷的工艺27
(一)硅烷的提纯方法46
三、硅烷的提纯46
(二)采用以吸附法为主提纯硅烷的工艺60
四、硅烷的热分解71
(一)硅烷热分解的反应及条件71
(二)用钼丝或硅芯沉积生长多晶硅的工艺77
(三)直接在硅籽晶上沉积生长单晶硅的工艺85
五、硅烷法生产中的安全防护92
(一)中毒和烧伤93
(二)防爆98
(三)防火、防触电102
(四)受压容器的安全技术104
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