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前言1

第一章 精密和超精密加工技术及其发展展望1

第一节 发展精密和超精密加工技术的重要性1

第二节 超精密加工技术的现状4

第三节 超精密加工技术发展展望7

复习思考题8

第二章 超精密切削与金刚石刀具9

第一节 超精密切削的切削速度选择9

第二节 超精密切削时刀具的磨损和耐用度10

第三节 超精密切削时积屑瘤的生成规律12

第四节 切削参数变化对加工表面质量的影响15

第五节 刀刃锋锐度对切削变形和加工表面质量的影响18

第六节 超精密切削时的最小切削厚度21

第七节 金刚石刀具晶面选择对切削变形和加工表面质量的影响23

第八节 超精密切削对刀具的要求及金刚石的性能和晶体结构25

第九节 金刚石晶体各晶面的耐磨性和好磨难磨方向30

第十节 单晶金刚石刀具的磨损破损机理32

第十一节 金刚石晶体的定向33

第十二节 金刚石刀具的设计与制造37

复习思考题42

第三章 精密磨削和超精密磨削43

第一节 精密和超精密磨削概述43

第二节 精密磨削47

第三节 超硬磨料砂轮磨削51

第四节 超精密磨削57

第五节 精密和超精密砂带磨削60

复习思考题69

第一节 精密和超精密机床发展概况70

第四章 精密和超精密加工的机床设备70

第二节 典型超精密机床的简介72

第三节 精密主轴部件78

第四节 床身和精密导轨部件82

第五节 进给驱动系统90

第六节 微量进给装置93

第七节 机床运动部件位移的激光在线检测系统98

第八节 机床的稳定性和减振隔振100

第九节 减少热变形和恒温控制103

复习思考题106

第一节 精密测量技术概述107

第五章 精密加工中的测量技术107

第二节 长度基准108

第三节 测量平台109

第四节 直线度、平面度和垂直度的测量111

第五节 角度和圆分度的测量114

第六节 圆度和回转精度的测量117

第七节 激光测量122

复习思考题126

第一节 概述128

第六章 在线检测与误差补偿技术128

第二节 在线检测与误差补偿方法134

第三节 微位移技术141

复习思考题147

第七章 精密研磨和抛光148

第一节 研磨抛光机理148

第二节 精密研磨、抛光的主要工艺因素150

第三节 超精密平面研磨和抛光151

第四节 采用新工作原理的超精密研磨抛光157

复习思考题162

第一节 微细加工技术的出现163

第八章 微细加工技术163

第二节 微细加工的概念及其特点165

第三节 微细加工机理167

第四节 微细加工方法169

复习思考题188

第九章 精密和超精密加工的支撑环境189

第一节 空气环境和热环境189

第二节 振动环境196

第三节 噪声环境200

第四节 其它环境203

第五节 精密和超精密加工的环境设施205

复习思考题206

第十章 纳米技术207

第一节 纳米技术概述207

第二节 纳米级测量技术207

第三节 纳米级表层物理力学性能的检测215

第四节 纳米级加工技术219

第五节 纳米级器件、微型机械和微型机电系统223

复习思考题226

参考文献227