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第1章　气体动力学1

1.1　概述1

1.1.1　波义耳定律3

1.1.2　查尔斯定律（1787年）或盖伊-卢萨克定律（1802年）3

1.1.3　道尔顿定律（1801年）3

1.1.4　阿伏伽德罗定律（1811年）3

1.1.5　阿伏伽德罗常数3

1.1.6　劳施密特数4

1.2　数学关系式4

1.3　问题及解答7

参考文献10

第2章　气体的粘滞流导和分子流导11

2.1　气体流导11

2.2　粘滞流导12

2.3　分子流导14

2.4　在过渡范围内的流导［11］18

2.5　综合流导公式19

2.6　最小理论漏率20

2.7　讨论23

2.8　问题和解答24

参考文献32

第3章　气体流动33

3.1　气体流动的一般特点33

3.2　测量漏率、标准漏率和真实漏率35

3.3　不同气体的漏率36

3.4　分压随时间的变化37

3.5　气体从密封封装内向外的粘滞流动41

3.6　不同气体的粘滞流动速率46

3.7　问题和解答48

参考文献56

第4章　气体流入密封封装57

4.1　分子流57

4.2　粘滞流流入和流出密封封装61

4.3　气体流动在双向同时发生64

4.4　问题及解答71

第5章　密封封装内的水汽91

5.1　水汽与腐蚀和电路失效的关系91

5.2　水汽从外部环境中漏入密封封装96

5.3　封装内释放的水汽103

5.4　由于封装内化学反应产生的水汽108

5.5　问题和解答108

参考文献131

第6章　理解MIL-STD-883方法1014氦细检漏试验133

6.1　试验目的133

6.2　试验基础知识133

6.3　试验的固定方法135

6.4　试验的灵活方法140

6.5 固定方法与灵活方法的比较143

6.6　粘滞流的影响144

6.7　测量漏率过于宽松145

6.8　封装时预充氦气147

6.9　预充后加压150

6.10　问题及解答153

参考文献166

第7章　用氦质谱检漏仪进行细检漏试验167

7.1　工作原理167

7.2　定义167

7.3　使用标准漏孔校准168

7.4　测量误差（不包括背景误差）169

7.5　背景误差171

7.6　封装外表面的氦气引起的误差171

7.7　最小可检测漏率（MDL）173

7.8　在标准漏孔间建立关联性174

7.9　封装的漏道定位175

7.10　问题和解答175

第8章　粗检漏187

8.1　概述187

8.2　将液体加压进入封装187

8.3　氟碳化合物蒸气逸出封装197

8.4　气泡试验201

8.5　气体探测试验201

8.6　增重试验204

8.7　光学检漏试验205

8.8　染料渗透试验213

8.9　残余气体分析中的氟碳化合物214

8.10　粗漏试验方法的定量比较218

8.11　问题和解答219

参考文献228

第9章　气体对固体的渗透229

9.1　渗透过程描述229

9.2　温度对渗透的影响232

9.3　把渗透率作为漏率对待234

9.4　水汽进入塑料封装236

9.5　问题和解答239

参考文献243

第10章　残余气体分析（RGA）245

10.1　试验说明245

10.2　试验目的245

10.3　根据RGA数据计算漏率248

10.4　RGA数据的分析254

10.5　运用RGA技术对小封装进行质量鉴定262

10.6　问题及解答264

参考文献269

附录A　符号及计量单位转换271

A.1　符号271

A.2　单位符号及中文名称273

A.3　计量单位转换274

A.3.1　压力（或真空）单位转换274

A.3.2　漏率单位转换276

附录B　名词术语中英文对照279