图书介绍

MEMS传感器接口ASIC集成技术2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载

刘晓为，陈伟平著著
出版社：北京：国防工业出版社
ISBN：9787118085150
出版时间：2013
标注页数：224页
文件大小：51MB
文件页数：242页
主题词：纳米技术－应用－集成传感器－接口

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图书目录

第1章引言1

1.1 MEMS集成传感器1

1.2 MEMS传感器接口电路集成技术特点及发展现状2

1.2.1主要技术特点2

1.2.2国内外发展趋势7

参考文献9

第2章微加速度计接口ASIC集成技术11

2.1电容式加速度计接口电路12

2.1.1电容式微加速度计的工作原理12

2.1.2电容式加速度计接口电路17

2.1.3哈尔滨工业大学设计的闭环电容式加速度计接口电路43

2.2集成压阻式加速度计接口电路44

2.2.1压阻式加速度计的工作原理46

2.2.2压阻式加速度计接口ASIC49

2.3集成压电式加速度计接口电路54

2.3.1压电式加速度计工作原理54

2.3.2压电式加速度计接口电路58

2.4集成谐振式加速度计接口电路62

2.4.1谐振式加速度计工作原理62

2.4.2谐振式加速度计接口电路69

2.5集成热对流式加速度计接口电路74

2.5.1热对流加速度计的工作原理74

2.5.2热对流加速度计接口电路77

2.6集成多轴加速度计接口电路82

参考文献86

第3章微机械陀螺接口ASIC集成技术89

3.1硅微机械陀螺89

3.1.1微机械陀螺等效电学模型89

3.1.2接口电路原理94

3.1.3 PCB混合集成电路94

3.1.4 ASIC集成技术97

3.2石英微机械陀螺接口ASIC134

3.2.1石英微机械陀螺基本原理134

3.2.2石英微机械陀螺接口电路141

3.3典型集成微陀螺产品及应用143

3.3.1 ADXRS300147

3.3.2 ADXRS614147

参考文献149

第4章磁传感器接口ASIC集成技术152

4.1各向异性磁阻传感器152

4.1.1各向异性磁阻传感器原理152

4.1.2各向异性磁阻接口ASIC电路154

4.2巨磁阻传感器154

4.2.1巨磁阻传感器原理155

4.2.2巨磁阻传感器接口ASIC155

4.3巨磁阻抗传感器156

4.3.1巨磁阻抗传感器原理156

4.3.2巨磁阻抗传感器接口ASIC157

4.4磁通门传感器160

4.4.1磁通门传感器原理160

4.4.2等效电学模型163

4.4.3磁通门传感器接口ASIC165

参考文献170

第5章MEMS压力传感器等接口ASIC集成技术171

5.1集成压力传感器171

5.1.1集成压力传感器分类171

5.1.2集成压力传感器结构及工作原理172

5.1.3压力传感器接口电路180

5.1.4典型集成压力传感器产品及应用200

5.1.5国外各大公司集成压力传感器部分产品一览205

5.2微（型）麦克风206

5.2.1常见麦克风的种类206

5.2.2 MEMS微麦克风207

5.2.3电容式麦克风的工作原理207

5.2.4微麦克风接口电路209

5.2.5典型产品及应用217

5.3 MEMS红外传感器及接口电路219

5.3.1 MEMS红外传感器工作原理220

5.3.2接口电路及单片集成221

参考文献222