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1.1 机械电子学1

第1章 光微机械电子学概述1

1.2 革新的方向5

1.3 光微机械电子学的地位7

1.4 微动力学和光学技术8

第2章 光微机械电子学的技术状况13

2.1 光技术创造的精密机器与信息机器13

2.2 光微机械电子学技术的本质15

2.2.1 光束强度控制15

2.2.2 光束定位控制16

2.3.1 光压的利用17

2.3 光束强度控制的实例17

2.3.2 光热变换的利用21

2.4 光束定位控制27

2.4.1 连续定位控制27

2.4.2 跟踪定位控制的分类28

2.4.3 主动连续跟踪控制29

2.4.4 被动连续跟踪控制30

2.4.5 定位控制系统的动态特性31

2.4.6 离散跟踪控制34

3.1.1 光源简介39

第3章 光微机械电子学中的间断定位39

3.1 重复频率控制原理与控制机构39

3.1.2 重复频率可变原理41

3.1.3 谐振腔长度变动机构42

3.2 重复频率控制特性48

3.3 脉冲周期的稳定及应用50

3.3.1 光通信中脉冲光源的简介50

3.3.2 重复频率的双重控制50

4.1 波长扫描原理与控制机构概要57

4.1.1 装置概要57

第4章 光微机械电子学中的速度控制57

4.1.2 波长选择原理58

4.1.3 同步旋转机构61

4.2 波长同步扫描与精密光学测量仪器62

4.2.1 波长扫描谱分析仪62

4.2.2 高精度激光波长检测63

4.2.3 波长扫描光源65

第5章 光微机械电子学中的跟踪定位71

5.1 传统型的光盘跟踪定位71

5.1.1 光盘的记录重放原理与定位概要71

5.1.2 聚焦伺服中的位置检测76

5.1.3 连续跟踪伺服中的位置检测77

5.1.4 采样伺服中的位置检测78

5.2 浮动头型光盘装置的跟踪定位81

5.2.1 装置的概要81

5.2.2 记录坑的检测83

5.2.3 气浮光头的被动定位85

5.2.4 实际装置技术87

5.3 复合谐振腔型激光位移传感器88

5.3.1 位置检测原理与跟踪定位概述88

5.3.2 应用93

第6章 光微机械电子学的基础光学99

6.1 光学基础99

6.1.1 麦克斯韦方程式100

6.1.2 波动方程式的行波解103

6.1.3 偏振光106

6.1.4 干涉108

6.1.5 光波面的控制109

6.1.6 光波的定域115

6.2 光学谐振腔及其应用116

6.2.1 光学谐振腔的原理及概要116

6.2.2 谐振腔的波长选择作用118

6.2.3 半导体激光光学121

第7章 光微机械电子学的基础力学135

7.1 微小物体动力学135

7.2 梁的运动方程式137

7.2.1 梁的力学模型137

7.2.2 根据力平衡的运动方程式的推导139

7.2.3 根据能量原理的运动方程式的推导140

7.2.4 多自由度系统方式的运动方程式的导出143

7.2.5 自由振动解与固有振动模式146

7.3.1 流体运动的基础公式149

7.3 微领域中的流体运动149

7.3.2 基于串珠模型的近似解析152

7.4 考虑空气阻力的梁的运动155

7.4.1 输入为谐波的振动155

7.4.2 微小振动梁的衰减比157

7.4.3 阶跃输入的过渡响应162

7.5 摩擦引起的爬行164

第8章 向光纳米机械电子学的发展173

8.1 纳米技术的发展潮流173

8.2 新一代光纳米存储技术176

索引183