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引论1

第一章 半导体中的结构缺陷和杂质3

1．引言3

2．真实晶体4

3．温度对于热缺陷浓度的影响6

4．晶体中的辐照缺陷9

5．晶体中缺陷的形成和化学键强度12

6．半导体中的杂质17

7．杂质能极18

8．杂质半导体中电子按量子态的分布21

9．补偿杂质23

10．绝缘晶体和半导体中的色中心26

11．位错29

12．半导体中的化学键32

参考文献34

第二章 固体中自扩散和杂质扩散过程动力学36

1．关于固体中扩散过程动力学的基本概念36

2．扩散和绝对反应速度理论39

3．填隙式固溶体中的扩散44

4．金属和其它元素晶体中的自扩散48

5．替代式固溶体中的扩散54

6．杂质（第三组元）对于金属和合金中扩散速度的影响54

7．多元系统中扩散的热力学描述56

8．基尔肯多耳效应59

9．反应扩散63

10．在金属氧化时的扩散和半导体膜的形成机制65

参考文献67

第三章 半导体和离子晶体中扩散理论的一些问题69

1．在半导体中扩散时杂质离子的相互作用和复合体的形成69

2．半导体中空位扩散机制情况下的库伦相互作用．半导体中的扩散系数和化学势能级73

3．极性晶体中的自扩散和离子导电性76

4．极性晶体中复合体的形成和杂质扩散79

5．爱因斯坦关系．观察到的偏离的起因83

6．锗和硅中某些杂质反常的扩散速度问题（扩散与溶解度的相互关系）86

参考文献88

第四章 扩散过程的数学基础89

1．引言89

2．在无限物体情况下扩散方程的通解90

3．无限物体扩散方程解的特殊情况92

4．半无限物体扩散方程的解96

5．具有束缚边界的有限大小物体扩散方程的解103

6．外力场中的扩散或受迫扩散109

7．扩散系数的浓度依赖关系121

参考文献126

第五章 研究半导体中扩散的方法127

1．引言127

2．取层法128

3．吸收法132

4．纵切面法141

5．电子-空穴结法143

6．光生电动势法151

7．电导法153

8．电容法156

9．扩散参量的确定158

参考文献159

第六章 锗中的扩散160

1．杂质在锗中的扩散和电学活泼性160

2．锗中的热变换和扩散过程165

3．铜在锗中的扩散166

4．恒定电场对于铜在锗中扩散的影响170

5．锗中结构缺陷对于铜的扩散和受主性质的影响171

6．铜在锗中的扩散机制175

7．银、金、镍和铁在锗中的扩散177

8．锂在锗中的扩散179

9．杂质对于锗中扩散的影响182

10．锗中的自扩散188

11．杂质对于锗自扩散的影响190

12．杂质自锗蒸发192

13．气体在锗中的渗透、溶解和扩散197

参考文献200

第七章 硅中的扩散202

1．施主杂质和受主杂质在硅中的扩散202

2．铜在硅中的扩散208

3．锂离子在硅中的扩散和迁移率210

4．硅中的快扩散受主211

5．恒定电场对于金和银在硅中扩散的影响214

6．锗和硅中杂质扩散机制的某些差异217

7．气体在硅中的渗透、溶解和扩散220

参考文献224

第八章 元素半导体中的扩散226

1．引言226

2．硫、硒和碲的结构特点226

3．硫中的自扩散230

4．硒中的自扩散231

5．汞在硒中的扩散234

6．某些杂质在硒中的扩散237

7．碲中的扩散241

8．磷中的自扩散242

9．石墨中的自扩散243

参考文献247

第九章 氧化物中的扩散249

1．氧化物半导体249

2．氧化亚铜中的扩散252

3．氧化锌中锌的自扩散255

4．铁族氧化物中的自扩散258

5．在其它氧化物中的扩散261

6．固态反应时阳离子的自扩散和尖晶石的形成机制264

参考文献271

第十章 在半导体化合物中的扩散273

1．半导体化合物273

2．硫化铅中的自扩散和杂质扩散274

3．碲化铅和硒化铅中的自扩散和杂质扩散282

4．锑和锡在Bi2Se3,Bi2Te3和HgSe中的扩散．ZnS中的自扩散286

5．反应扩散时金属上半导体层的产生291

6．金属间化合物中的扩散292

参考文献301

第十一章 杂质在半导体中的溶解度303

1．引言303

2．固溶体形成的基本规律303

3．半导体中的“稀释”固溶体．同弱电解液的类似性306

4．半导体中杂质溶解的电解模型（雷斯理论基础）307

5．施主杂质和受主杂质对于它们在半导体中溶解度的相互影响312

6．溶解度和复合体形成．电离杂质之间库伦相互作用的考虑314

7．分凝系数．分凝系数对于温度的依赖关系315

8．杂质在锗中的溶解度和分凝系数318

9．杂质在硅中的溶解度和分凝系数326

10．杂质在锗和硅中的退缩溶解度332

11．施主-受主相互作用对于杂质在锗中和硅中溶解度的影响（实验数据）334

12．杂质在二元半导体化合物中的溶解度337

13．具有无限溶解度的半导体系统339

14．定向结晶时的杂质分凝和物质提纯342

15．固溶体分解理论基础343

16．锂在锗中固溶体分解的动力学347

17．铜和镍在锗中和硅中固溶体的分解352

参考文献354