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第一章 真空技术人门1

1.1 真空技术的发展历史1

1.2 真空技术与电子技术2

1.3 真空度的单位3

1.4 真空区域的划分4

1.5 真空技术研究的内容5

1.6 大气层与真空5

1.7 真空技术的应用6

思考与练习9

第二章 真空技术的物理基础10

2.1 气体分子运动论的基本知识10

2.2 气体的压强13

2.3 气体的道尔顿定律14

2.4 麦克斯韦速率分布律14

2.5 平均自由程16

2.6 分子与表面的碰撞频度和从表面的反射18

2.7 气体的电离19

2.8 气体的非平衡过程输运现象20

2.9 真空状态下的气体流动21

2.10 流导的概念22

2.11 流导的计算23

2.12 物理吸附与化学吸附25

2.13 气体在固体中的溶解、扩散与渗透27

2.14 小结29

思考与练习33

第三章 真空获得真空泵35

3.1 真空泵的分类35

3.2 真空泵的主要参数35

3.3 真空系统的抽气过程36

3.4 旋片机械真空泵（机械泵）38

3.5 油扩散泵43

3.6 涡轮分子泵47

3.7 分子筛吸附泵49

3.8 钛升华泵52

3.9 溅射离子泵55

3.10 低温泵58

3.11 吸气剂泵60

3.12 小结61

思考与练习62

第四章 真空度的测量真空计63

4.1 U型真空计63

4.2 压缩真空计（麦克劳真空计）65

4.3 热传导真空计67

4.4 普通型热阴极电离真空计70

4.5 超高真空热阴极电离真空计75

4.6 低真空热阴极电离真空计80

4.7 冷阴极电离真空计81

4.8 相对真空计的校准85

4.9 小结86

思考与练习87

第五章 分压强的测量质谱计89

5.1 质谱计的性能指标89

5.2 磁偏转质谱计91

5.3 回转质谱计（欧米加质谱计）93

5.4 飞行时间质谱计94

5.5 四极质谱计95

5.6 真空系统中残余气体的来源99

5.7 质谱图的识别100

5.8 分压强的计算102

5.9 小结104

思考与练习104

第六章 真空系统106

6.1 真空系统的分类106

6.2 真空系统常用材料107

6.3 真空系统常用组件113

6.4 真空系统的组装117

6.5 真空系统的图形符号（GB1364-85）124

6.6 典型真空系统举例128

6.7 真空卫生131

6.8 小结132

思考与练习132

第七章 真空检漏133

7.1 概述133

7.2 漏孔的漏率134

7.3 检漏方法分类136

7.4 几种加压检漏法137

7.5 几种真空检漏法139

7.6 氦质谱检漏仪的工作原理142

7.7 氦质谱检漏仪的性能指标145

7.8 氦质谱检漏方法及注意事项146

7.9 标准漏孔及其漏率的校准151

7.10 漏孔的修补153

7.11 小结154

思考与练习154

附录156