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第一章 晶体及其能带结构1

第一节 空间点阵和晶体结构1

第二节 晶体的能带结构11

第三节 晶体的物理常数及其坐标变换21

参考文献30

第二章 压力传感器的基本原理31

第一节 单晶硅的压阻效应31

第二节 扩散硅的压阻效应44

第三节 多晶硅的压阻效应55

附录 任意晶向压阻系数的计算67

参考文献70

第一节 弹性力学基础71

第三章 压力传感器中承压弹性膜的应力计算71

第二节 承压弹性薄膜的应力分析78

第三节 压力传感器弹性膜二维有限元法的应力计算86

第四节 压力传感器三维有限元法应力计算简介103

参考文献113

第四章 压力传感器芯片版图设计114

第一节 合理利用压阻系数115

第二节 力敏电阻条的设计123

第三节 二极管与三极管的设计130

第四节 失效与可靠性问题137

参考文献142

第五章 压力传感器的衬底制备144

第一节 硅单晶片抛光的基本原理144

第二节 衬底片的清洗152

第三节 外延工艺原理165

第四节 硅一硅键合工艺原理175

参考文献181

第六章 压力传感器的管芯制备183

第一节 氧化膜的制备183

第二节 扩散工艺原理203

第三节 光刻工艺原理234

参考文献249

第七章 硅压力传感器的微机械加工251

第一节 概况251

第二节 湿化学腐蚀252

第三节 各向异性腐蚀过程计算机模拟267

第四节 压力传感器的压力腔腐蚀工艺275

第五节 表面微机械加工——牺牲层技术286

第六节 玻璃穿孔技术288

参考文献289

第八章 压力传感器的封装291

第一节 压力传感器的封装意义及要求291

第二节 压力传感器芯片的封接方法293

第三节 硅片与硅叶低温直接键合304

第四节 封接材料的性质308

参考文献310

第九章 压力传感器的引线312

第一节 压力传感器的引线键合312

第二节 载带自动键合(TAB)技术316

第三节 引线的可键合性与可靠性326

第四节 引线间接触电阻的测量333

参考文献338

第十章 压力传感器的技术性能与选用339

第一节 压力传感器的技术性能339

第二节 压力传感器的选用355

参考文献365

第十一章 压力传感器的热漂移及其补偿技术366

第一节 热零点漂移及其补偿技术366

第二节 热灵敏度漂移及其补偿技术382

第三节 用自平街电桥简单电路消除热零点和灵敏度漂移389

参考文献401

第十二章 压力传感器的信号调理402

第一节 集成运算放大器简介402

第二节 仪表放大器简介425

第三节 压力传感器激励432

参考文献439

第十三章 压力传感器的智能化技术440

第一节 MCS-51单片机系统概述440

第二节 MCS-51单片机的指令系统448

第三节 MCS-51单片机内部存储器470

第四节 MCS-51单片帆内部的定时器/计数器475

第五节 MCS-51单片机内部的并行输入/输出(I/O)口481

第六节 MCS-51单片帆内部的串行口485

第七节 MCS-51单片机的中断控制系统490

第八节 智能化压力传感器的硬件设计498

第九节 智能化压力传感器的软件设计523

参考文献539

第一节 膜片式电容型压力传感器541

第十四章 其他种类压力传感器541

第二节 压电型压力传感器549

第三节 金属电阻应变式压力传感器565

第四节 干涉光非接触式读出压力传感器572

第五节 光纤压力传感器578

参考文献583

第十五章 压力传感器的应用584

第一节 压力传感器的应用分类584

第二节 LED显示排压力计590

第三节 电池供电精密气压计594

第四节 压力控制器598

第五节 自动洗衣机中应用的压力传感器602

第六节 自动补偿静压的压力传感器604

第七节 压力传感器在液位测量中的应用607

参考文献611

附录611

一、主要物理常数611

二、单位换算表612

1．长度单位换算612

2．质量单位换算612

3．力单位换算612

4．功及能量单位换算612

5．功率单位换算612

6．压力单位换算613

7．电磁单位换算614

三、重要半导体的物理性质614