图书介绍
硅中缺陷与器件质量 半导体材料学进展译文集2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载

- 王儒全等译 著
- 出版社: 轻工业出版社
- ISBN:15042·1538
- 出版时间:1980
- 标注页数:180页
- 文件大小:13MB
- 文件页数:184页
- 主题词:
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图书目录
目录1
硅材料特性和器件功能之间的关系1
硅衬底中的缺陷13
用预氧化吸收来消除硅片的氧化诱生堆垛层错Ⅰ.磷扩散诱生失配位错39
用预氧化吸收来消除硅片的氧化诱生堆垛层错Ⅱ.Si3N4工艺46
用预氧化吸收来消除硅片的氧化诱生堆垛层错Ⅲ.缺陷腐蚀坑与P-N结漏电流的关系55
硅中氧化诱生堆垛层错一、成核现象63
硅中氧化诱生堆垛层错二、在P-N结二极管中的电效应77
硅中硅氧化物的非均相沉淀98
退火硅表面的堆垛层错109
硅器件中工艺诱生缺陷和软P-N结之间的关系117
硅片退火对环状缺陷产生的影响122
堆垛层错对场效应管器件漏电流的影响133
硅光导型摄象管中晶格缺陷引起的图象损坏138
吸收和位错146
显示〈100〉硅晶体缺陷的化学腐蚀的比较155
显示硅单晶中缺陷的一种新的择优腐蚀液163
封闭舟:一种硅片成批处理的新方法171
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